倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                            

由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。            

仿真任务                                                                            

连接建模技术:倾斜光栅

                                                                     

可用的微结构建模技术:

光栅阶数分析仪

参数变化分析仪                                                                            

参数优化                                                                            

优化结果-平均效率

优化结果-对比度